Electrical contacts communicate with the sensor element.
The second sensor element converts a second inertial force into an electrical signal.
Le second élément capteur convertit une seconde force d'inertie en un signal électrique.
Each sensor element comprises an outer frame including a conductive material.
The sensor element has a fourth electrode.
Also provided is a method for producing a sensor element.
Further disclosed is a sensor element which can be produced using this method.
L'invention concerne en outre un élément détecteur qui peut être fabriqué par ce procédé.
The sensor element is separated from the wafer and attached to a substrate.
On sépare l'élément capteur de la tranche et on le place sur un substrat.
Under certain embodiments, the sensor element comprises pre-derivatized or pre-functionalized nanotubes.
Dans certains modes de réalisation, l'élément de détection comprend des nanotubes pré-dérivatisés ou pré-fonctionnalisés.
The sensor element can be a microcantilever.
L'élément capteur peut être un micro-élément en porte-à-faux.
A sensor element for measuring at least one process parameter is provided.
L'invention concerne un élément détecteur destiné à détecter au moins une grandeur de processus.
which lie adjacent to the sensor element, two pressure receiving chambers
adjacentes à l'élément capteur, de deux chambres de réception de la pression
according to the invention, the sensor element has a spiral structure.
selon l'invention, l'élément capteur présente une structure en spirale.
further comprising encoding means for signal received from said sensor element
comprenant en outre un moyen de codage du signal reçu dudit élément de détection