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mems sensor element
Vertaling van "mems sensor element" in Frans
élément de détection MEMS
A packaged capacitive MEMS sensor device 100 includes at least one capacitive MEMS sensor element with at least one capacitive MEMS sensor cell 100a including a first substrate 101 having a thick 106 and a thin 107 dielectric region.
La présente invention concerne un dispositif 100 à capteur MEMS capacitif conditionné comprenant au moins un élément de capteur MEMS capacitif doté d'au moins une cellule 100a de capteur MEMS capacitif comprenant un premier substrat 101 ayant une région diélectrique épaisse 106 et une région diélectrique fine 107.
Because the microelectromechanical sensor components are protected inside the MEMS sensor element by a housing of the MEMS sensor element, the function of the microelectromechanical sensor components cannot be impaired by soiling.
Comme les composants de détection microélectromécaniques sont protégés à l'intérieur de l'élément de détection MEMS par un boîtier de l'élément de détection MEMS, leur fonctionnement ne peut pas être entravé par des encrassements.
For this purpose, the sensor comprises a circuit board, on which the MEMS sensor element is fastened and which is connected to the feeling roller in such a way that the motion of the MEMS sensor element corresponds to the motion of the feeling roller.
A cet effet, le capteur comprend un circuit imprimé sur lequel est fixé l'élément de détection MEMS et qui est relié au rouleau de détection de telle sorte que le mouvement de l'élément de détection MEMS correspond au mouvement du rouleau de détection.
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Synoniemen voor mems sensor element in het Engels
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