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smart etch
Vertaling van "smart etch" in Frans
Smart-Etch
Smart Etch
To achieve this, new technologies are developing, including the Smart Etch.
Pour arriver à faire cela, de nouvelles technologie se développent, dont le Smart Etch.
To overpass this limitation, an innovative approach was recently developed (so-called Smart Etch), which is based on light ion implantation and composed of two steps.
Afin de dépasser cette limitation, une approche innovante a été récemment développée (dite Smart-Etch), qui s'appuie sur l'implantation d'ions légers et se déroule en deux étapes.
In the end, a range for plasma parameters is proposed to optimize this first step of the Smart Etch process and to control the modification of SiN with a sub-nanoscale precision.
Finalement, une gamme de paramètres plasma est proposée pour optimiser cette première étape de Smart-Etch et contrôler la modification de SiN avec une précision sous-nanométrique.
The aim of this thesis is to study the feasibility of replacing the He and H2 plasmas used in the Smart Etch by O2 plasmas.
Le but de cette thèse est d'étudier la faisabilité de remplacer les plasmas de He et H2 utilisé dans le Smart Etch par des plasmas d'O2.
The ion composition and the radical-to-ion flux ratio Γ must be considered as well, since the etch rate increases with Γ, compromising even the possibility to achieve a Smart Etch of silicon.
La composition ionique et le rapport flux de radicaux/ flux ions (Γ) doivent également être controllés avec précaution, notamment car la vitesse de gravure du matériau augmente avec Γ, ce qui empêche entre-autre la possibilité du Smart-Etch pour le silicium.
To achieve this, new technologies are developing, including the Smart Etch.
Pour arriver à faire cela, de nouvelles technologie se développent, dont le Smart Etch.
The aim of this thesis is to study the feasibility of replacing the He and H2 plasmas used in the Smart Etch by O2 plasmas.
Le but de cette thèse est d'étudier la faisabilité de remplacer les plasmas de He et H2 utilisé dans le Smart Etch par des plasmas d'O2.
Synoniemen voor smart etch in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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