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sputtering module
Examples with "sputtering module" and their translation in Frans
a sputtering module incorporated into a wafer processing system
module de pulvérisation incorporé à un système de traitement de plaquettes
In other embodiments of this invention, a dual mode chamber may be provided that is adapted to receive a removable ion beam module on one side of a substrate and a removable sputtering module on the other side of the substrate.
D'autres modes de réalisation de l'invention peuvent comprendre une chambre à mode double adaptée pour recevoir un module à faisceau électronique amovible sur un côté d'un substrat et un module de pulvérisation amovible sur l'autre côté du substrat.
wherein selected chambers of the plurality of processing chambers comprise at least one combination source having a sputtering module and an evaporation module arranged linearly in the direction of travel of the carriers.
des chambres sélectionnées de la pluralité de chambres de traitement comprenant au moins une source de combinaison ayant un module de pulvérisation cathodique et un module d'évaporation agencés linéairement dans la direction de déplacement des supports.
a sputtering module comprises a power supply unit and is sufficient for receiving an electrical input and for delivering an electric output sufficient for sputtering in a sputtering compartment
un tel module de pulvérisation cathodique comprend une unité d'alimentation et il est conçu pour recevoir une entrée électrique et pour produire une sortie électrique suffisante pour réaliser l'opération de pulvérisation cathodique dans un compartiment de pulvérisation cathodique
Andere resultaten
a plurality of sputtering modules is used to form static interferometric elements on a substrate
une pluralité de modules de pulvérisation sont utilisés pour former des éléments interférométriques fixes sur un substrat
Vertically mounted, dual rotatable cylindrical magnetrons (66) with associated vacuum pumps (62) form semi-isolated sputtering modules, which can be independently controlled for the sequential deposition of layers of similar or different materials.
Deux magnétrons (66) cylindriques rotatifs verticaux associés à des pompes (62) à vide constituent des modules semi-isolés de pulvérisation cathodique commandables séparément et permettant des dépôts successifs de matériaux identiques ou différents.
At least two sputtering modules (16, 18) and a pumping stack module (20) are arranged in series and in any desired order between a load module (14) and an exit module (24).
Au moins deux modules de pulvérisation (16, 18) et un module superposé de pompage (20) sont agencés en série et dans n'importe quel ordre voulu entre un module de charge (14) et un module de sortie (24).
in-line sputtering for improving thin film solar modules
pulvérisation en ligne pour amélioration de modules solaires à couche mince
A detection module detects the occurrence of an arc in the sputtering chamber by monitoring an electrical characteristic of the plasma.
Un module de détection détecte l'occurrence d'un arc dans la chambre de pulvérisation en contrôlant une caractéristique électrique du plasma.
SPUTTERING APPARATUS HAVING AN ON BOARD SERVICE MODULE
APPAREIL DE PULVERISATION AVEC MODULE DE SERVICE EMBARQUE
The present invention relates to the photovoltaic modules and specially to forming thin-film photovoltaic cells by sputter depositing a cadmium sulfide layer using an electrically conductive cadmium sulfide sputtering target.
L'invention porte sur une cible de pulvérisation cathodique de sulfure de cadmium conductrice de l'électricité, sur son procédé de fabrication et sur le procédé de fabrication d'une cellule photovoltaïque l'utilisant.
The processing modules include a plurality of processing modules for forming a metal film by sputtering on the wafer (W), and a processing module for oxidizing a metal film.
Les modules de traitement comprennent une pluralité de modules de traitement destinés à former un film métallique par pulvérisation sur la plaquette (W), et un module de traitement destiné à oxyder un film métallique.
Synoniemen voor sputtering module in het Engels
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