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The surface topography data can also be used to calculate the compressive or tensile stress caused by a thin film applied to the surface of a semiconductor wafer.
Les données relatives à la topographie de cette surface peuvent également être utilisées pour calculer les contraintes de compression ou de tension causées par un mince film appliqué sur la surface d'une tranche de semi-conducteur.
using software that employs a structured light analysis, surface topography data for the object is determined from the phase shift of the lines.
a l'aide d'un logiciel qui emploie une analyse de lumière structurée, des données de topographie de surface pour l'objet, sont déterminées à partir du déphasage des lignes.
a user is instructed to conduct a number of calibration measurement operations using a calibration sample having a calibration surface to obtain calibration surface topography data for the calibration sample
l'utilisateur reçoit l'instruction d'exécuter plusieurs opérations de mesure d'étalonnage au moyen d'un spécimen d'étalonnage possédant une surface d'étalonnage afin d'obtenir des données topographiques de surface d'étalonnage pour le spécimen d'étalonnage
A reference surface features remover (37) is provided for adjusting surface topography data obtained for a sample surface in accordance with the reference surface features data.
Un suppresseur (37) de ces caractéristiques de surface de référence sert à régler les données topographiques de surface obtenues pour une surface de spécimen en fonction des données de caractéristiques de surface de référence.
at each calibration measurement operation, an image representing the calibration surface topography data is displayed to the user and the user has the option either to accept or reject the calibration surface topography data represented by the displayed image
a chaque opération de mesure d'étalonnage, une image représentant la topographie de surface d'étalonnage est affichée pour l'utilisateur et ce dernier a le choix d'accepter ou de rejeter des données topographiques représentées par l'image affichée
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