This series provides excellent properties for bump and fine pattern formation.
Since a film to be the mask is not formed again, a fine pattern can be accurately provided.
マスクとなる膜を形成し直さないので微細パターンを精度良く作れる。
A fine pattern is drawn effectively using a permanent magnet.
This radiation-sensitive resin composition has excellent resolution performance and enables to form a fine pattern.
微細なパターンを形成することができる解像性能に優れた感放射線性樹脂組成物を提供すること。
Suited for fine pattern circuits.
Provided are a conductive paste by which a fine pattern having high conductivity is highly accurately formed, and a wiring board using such conductive paste.
本発明の目的は、高い導電性を有するファインパターンを精度良く形成することのできる導電性ペーストおよびそれを用いた配線基板を提供することにある。
An exposure method wherein a fine pattern of approximately a wavelength of illuminating light or finer can be formed at a low cost.
例えば照明光の波長程度以下の微細パターンを、安価に形成できる露光方法である。
Disclosed is a colored photosensitive resin composition, which exhibits good patterning properties during development and enables the formation of a fine pattern.
現像時のパターニング性がよく、微細パターンが形成可能な着色感光性樹脂組成物を提供する。
A hybrid integrated circuit device and a manufacturing method thereof, by which a fine pattern can be formed while maintaining a current capacity.
電流容量を確保しつつ微細なパターンが形成可能な混成集積回路装置およびの製造方法を提供する。
A dense, homogeneous coating of chrome oxide is applied to the roll, which is subsequently laser engraved with a fine pattern.
ロールに、酸化クロムを高密度で均一にコーティングし、その後、微細なパターンをレーザーで彫刻します。
Disclosed is a method for producing an imprint mold having a highly precise fine pattern formed thereon by using a mask blank.
マスクブランクを用いて高精度の微細パターンが形成されたインプリント用モールドの製造方法を提供する。
This composition is coated onto a negative photoresist pattern obtained by developing with an organic solvent developer and is heated, thereby forming a fine pattern.
有機溶剤現像液で現像して得られるネガ型フォトレジストパターンにその組成物を塗布し、加熱することによって、微細なパターンを形成させる。
Provided, by a simple process and with high throughput, is a mold for transferring a fine pattern, suitable for producing a substrate having an uneven structure such as a diffraction grating.
回折格子のような凹凸構造を有する基板の製造に好適である微細パターン転写用のモールドを簡易なプロセスで且つ高いスループットで提供する。