Le procédé fait appel à un système d'outil multiposte.
The method employs a cluster tool apparatus.
Les tranches sont chargées dans l'outil multiposte à intervalles réguliers dits période d'envoi.
Wafers are loaded into the cluster tool at a regular interval, referred to as a sending period.
Un système multiposte conçu pour toutes productions importantes ou en continu
A multistation system designed for all important or continuous productions
appareil multiposte de mélange et de distribution de liquides à codage couleur
multistation color coded liquid mixing and dispensing apparatus
Elle concerne aussi un système d'enroulement multiposte qui comporte des fonctions et des dispositifs de chargement, d'enroulement et d'extraction.
A multiple station winding system is provided which integrates the loading, winding, and extracting functions and devices.
Ce programmateur sert également à évite des conflits au niveau de l'acheminement entre les modules de l'outil multiposte.
The scheduler also eliminates conflicts for transportation resources between modules in the cluster tool.
cet outil multiposte, destiné à des plaquettes, fonctionne de manière régulière, périodique
a wafer cluster tool is described which operates in a regular, periodic fashion
chambre de traitement d'un outil multiposte intégrant des compartiments à haute pression et à vide
cluster tool process chamber having integrated high pressure and vacuum chambers
Dans l'outil multiposte, les événements sont programmés pour se produire à des intervalles périodiques réguliers, ce qui améliore le débit et la qualité.
Events in the cluster tool are scheduled to occur at regular, periodic intervals, thereby improving throughput and quality.
par exemple un groupe de gravure multiposte, comprend une zone de transfert de dispositifs
eg a lithography cluster, comprises a device transfer area
un outil multiposte comprend une chambre de transfert reliée à une pluralité de chambres à vide
a cluster tool includes a transfer chamber connected to a plurality of vacuum chambers
procédé et appareil de préchauffage et de dégazage de lots dans un outil multiposte de traitement de plaquettes
wafer processing cluster tool batch preheating and degassing method and apparatus
La périodicité de l'outil multiposte programmé permet d'identifier les tranches dans l'outil.
The periodicity of the scheduled cluster tool enables the identification of wafers in the cluster tool.
