Die dabei vom Detektorarray erzeugten Signale werden in einem nachgeschalteten Rechner ausgewertet.
The signals generated by the detector array during this process are evaluated in a subsequent processor.
Das Mikrolinsenarray kann aber auch mit dem Detektorarray senkrecht zur optischen Achse translatorisch bewegt werden.
However, the microlens array can also be moved with the detector array in a translational manner perpendicularly to the optical axis.
Zur eigentlichen Datenaufnahme wird das Objekt in der festgelegten Abtastrichtung streifenförmig über das feststehende Detektorarray bewegt.
For the actual data pick-up, the object is moved in the scanning direction defined in strip-form over the stationary detector array.
Es besteht aber auch die Möglichkeit, ein der Strukturierung des Substrates angepaßtes Detektorarray auf das Substrat aufzusetzen bzw. dort anzuordnen.
A detector array adapted to the structure of the substrate can also be placed or mounted on the substrate.
Das Bilderfassungssystem besteht hierbei aus einem Mikrolinsenarray, einem Detektorarray und optional einem Pinhole-Array.
Said image recording system comprises a microlens array, a detector array, and an optional pinhole array.
Basierend auf den Simulationen wurde das Detektorarray entworfen und optimiert, im Instituts eigenen Reinraum hergestellt und schließlich in einem Messaufbau bei tiefen Temperaturen betrieben und charakterisiert.
Based on the simulations the detector array was developed and optimized, fabricated in the inhouse cleanroom of the institute and finally operated and characterized in a measurement setup at low temperatures.
Optisches Element nach Anspruch 7, wobei das Detektorarray eine zumindest teilweise axiale Ausrichtung aufweist.
Optical element according to claim 7, wherein the detector array has an at least partially axial orientation.
Optisches Element nach Anspruch 6, das ein Detektorarray umfasst, das die Positionen von zumindest einer Reflexionsordnung der diffraktiven Linse misst.
Optical element according to claim 6, comprising a detector array measuring the positions of at least one reflection order of the diffractive lens.
Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, bei der für eine Absorptionsmessung dem Gegenstandsarray (1) in Beleuchtungsrichtung ein zweites Detektorarray nachgeordnet ist.
The device according to any of the preceding claims, wherein, for absorption measurement, a second detector array is disposed following the object array (1) in the illumination direction.
Multikomponenten-Prozeßspektrometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Detektorarray (2, 14) aus pyroelektrischen Sensoren besteht.
Multiple component process spectrometer according to claim 1 or 2, characterised in that the detector array (2, 14) includes pyroelectrical sensors.
Radiaographisches Detektorarray für automatische Belichtungssteuerung
Radiographic detector array for automatic exposure control
System nach Anspruch 16, wobei sowohl das Detektorarray (22) als auch die Strahlungsquelle (12) in einer Quermaschinenrichtung der Materialbahn (18) gescannt werden.
The system of claim 16, wherein both said detector array (22) and said radiation source (12) are scanned in a cross-machine direction of the material web (18).
Das Plattensystem gemäß Anspruch 4, das ferner folgendes Merkmal aufweist: eine optische Apertur (106), wobei von der Datenoberfläche reflektiertes Licht durch die optische Apertur läuft, bevor es auf das Detektorarray gerichtet wird.
The disk system of claim 4, further comprising: an optical aperture (106), wherein light reflected from the data surface passes through the optical aperture before being directed onto the detector array.
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