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VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG
Verfahren zum Strukturieren
Verfahren zum Bemustern
Verfahren zur Herstellung eines Musters
METHOD FOR PATTERNING THIN FILMS
VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG DÜNNER SCHICHTEN
METHOD FOR PATTERNING BY SURFACE MODIFICATION
VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG DURCH OBERFLÄCHENMODIFIKATION
Method for patterning a wafer for the manufacture of an integrated circuit
Verfahren zum Strukturieren eines Wafers zur Herstellung einer integrierten Schaltung
Method for patterning a layer of conductive polymer
Verfahren zum Strukturieren einer Schicht aus leitfähigem Polymer
A method for patterning by photolithography using a phase shift mask, characterized in that a phase shift mask according to one of claims 1 to 6 is used.
Verfahren zum Bemustern durch Photolithographie unter Benutzung einer Phasenverschiebungsmaske, dadurch gekennzeichnet, daß eine Phasenverschiebungsmaske gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 benutzt wird.
Method for patterning metallo-organic precursor film and film products.
Verfahren zum Bemustern Metall-organischer Ausgangsstoff-filme und Film-Produkte.
A method for patterning an organic light emitting diode device
Verfahren zur Strukturierung einer organischen Leuchtdiode
A method for patterning an optical element
Verfahren zur Strukturierung eines optischen Elements
Method for patterning a layer under color filters.
Verfahren zur Strukturierung einer Schicht unter einem Farbfilter.
Method for patterning a conductive polycrystalline layer
Verfahren zur Strukturierung einer leitenden Schicht aus polykristallinem Material
METHOD FOR PATTERNING A FERROELECTRIC POLYMER LAYER
VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG EINER FERROELEKTRISCHEN POLYMERSCHICHT
METHOD FOR PATTERNING ELECTROCONDUCTIVE TIN OXIDE FILM
VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON ELEKTROLEITFÄHIGEM ZINNOXIDFILM
METHOD FOR PATTERNING A LAYER OF A LOW DIELECTRIC CONSTANT MATERIAL
VERFAHREN ZUM STRUKTURIEREN EINER SCHICHT MIT NIEDRIGER DIELEKTRIZITÄTSKONSTANTE
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