Two beams of coherent light with a first phase difference expose a first interference pattern on a nonlinear photoresist.
Deux faisceaux de lumière cohérente avec une première différence de phase exposent un premier motif d'interférence sur une résine photosensible non linéaire.
Because of that longer length, the second interference pattern data is delayed in time from the first interference pattern data.
En raison de cette longueur supérieure, les secondes données de motif d'interférence sont retardées dans le temps par rapport aux premières données de motif d'interférence.
selecting a first hologram of the interferometer apparatus and recording at least one first interference pattern generated by measuring light reflected from a surface of a first optical element
à sélectionner un premier hologramme de l'appareil interféromètre et à enregistrer au moins un premier motif d'interférence généré en mesurant la lumière réfléchie de la surface d'un premier élément optique
and adjusting a position of the first optical element relative to the second optical element on the mounting structure based upon the first interference pattern and the second interference pattern.
et à ajuster une position du premier élément optique par rapport au second élément optique sur la structure de montage sur la base du premier motif d'interférence et du second motif d'interférence.
An interferometric lithographic apparatus (10) includes an arrangement for applying interfering laser beams (11) to a part for producing a first interference pattern.
Appareil lithographique (10) par interférométrie comprenant un dispositif servant à appliquer des faisceaux d'interférence laser (11) à une pièce afin d'obtenir une première configuration d'interférence.
First interference pattern data for the DUT is obtained for a first path to the DUT, and second interference pattern data for the DUT is obtained for a second somewhat longer path to the DUT.
On obtient de premières données de motif d'interférence du dispositif DUT pour une première trajectoire vers le DUT, et on obtient de secondes données de motif d'interférence du dispositif DUT pour une seconde trajectoire légèrement plus longue vers le DUT.
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Synonymes et analogies de "first interference pattern" en anglais