The invention relates to a novel interference microscope and also novel parts for use therein.
The invention also concerns an interference microscope, preferably one for carrying out the above method.
Thus, the electron beam device which enables versatile observation of the interference microscope image can be provided for users of various technical levels.
Ainsi, le dispositif à faisceau d'électrons qui permet une observation polyvalente de l'image de microscope à interférence peut être fourni pour des utilisateurs de divers niveaux techniques.
a two beam interference microscope obtains an image of an object which is mounted on a piezo controlled sample table and illuminated using a broadband light source
un microscope à interférence à deux rayons fournit une image d'un objet monté sur une table d'échantillonnage piézo-contrôlée et illuminée en utilisant une source lumineuse à large bande
method and interference microscope for imaging an object, with the aim of achieving a resolution beyond the diffraction limit
procede et microscope interférentiel permettant d'examiner un objet pour parvenir a une resolution au-delà du seuil de diffraction (superresolution)
Provided are an interference microscope wherein samples, such as a wafer, are irradiated with a laser beam, and the inside of the sample surface is observed and inspected by using an interferometer, and a measuring apparatus.
La présente invention concerne un microscope interférentiel dans lequel des échantillons tels qu'une tranche sont exposés à un faisceau laser, et l'intérieur de la surface d'échantillon est observé et inspecté à l'aide d'un interféromètre.
method for measuring the microrelief of an object and optical characteristics of near-surface layer, modulation interference microscope for carrying out said method
procédé de mesure du microrelief d'un objet et des caractéristiques optiques d'une couche près de la surface et microscope interférentiel à modulation pour mettre en oeuvre ce procédé
as for an electronic component to be inspected first, an objective lens of the differential interference microscope is advanced/retracted by means of a z-direction adjusting means, and a plurality of images are continuously picked up
pour un composant électronique à inspecter en premier, une lentille de focalisation du microscope à interférence différentielle est avancée/rétractée à l'aide d'un moyen d'ajustement de direction z, et une pluralité d'images sont prises en continu
a means or artefact for calibrating the height/depth or z axis of a microscope, such as a confocal microscope, an interference microscope or a scanning electron microscope
une unité ou artéfact permettant d'étalonner la hauteur/profondeur ou l'axe z d'un microscope, tel qu'un microscope confocal, un microscope interférentiel ou un microscope électronique à balayage
The microscope is adapted (to enable it), in a first selected condition, to function as an interference microscope and in a second, alternative condition, to function as a bright-field microscope.
Le microscope est destiné à fonctionner, dans une première condition sélectionnée, comme un microscope interférentiel et, dans une seconde condition alternative, comme un microscope à fond clair.
of an interference microscope image
d'une image de microscope à interférence
A phase shifting interference microscope utilizing an extended, quasi-monochromatic illumination source (12-18) is used to generate a two beam interference intensity pattern at a given field position on a detector array (30).
Un microscope interférentiel à décalage de phase, se servant d'une source d'éclairage quasi-monochromatique prolongée (12-18), est employé pour générer une figure d'intensité d'interférence à deux faisceaux en un point de champ donné sur un réseau de détecteurs (30).
The spectroscopy instrument includes an interference microscope illuminated by Koehler illumination and a video camera located to image the back focal plane of the microscope's objective lens while the path-length difference is varied between the reference and object paths.
Ledit instrument comporte un microscope interférentiel à éclairage de Koehler et une caméra vidéo située de manière à imager le plan focal arrière de l'objectif du microscope tandis que la différence de longueur de chemin est modifiée entre les chemins d'objet et les chemins de référence.