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spatial light modulating element
Traduction de "spatial light modulating element" en français
élément de modulation spatiale de la lumière
élément de modulation de lumière spatiale
élément de modulation spatiale de lumière
The support body may be supported while being spaced apart from the surface of the substrate in the above spatial light modulating element.
Le corps de support peut être soutenu tout en étant espacé de la surface du substrat dans l'élément de modulation spatiale de la lumière ci-dessus.
a light source, for irradiating a light beam b on the spatial light modulating element
une source lumineuse, qui irradie un faisceau lumineux b sur l'élément de modulation spatiale de lumière
Further, a coupler section may be additionally provided, which couples the support body to the substrate so as to be movable along the planar direction of the substrate in the spatial light modulating element.
En outre, une section coupleur qui accouple le corps de support au substrat de façon à pouvoir être mobile le long de la direction planaire du substrat dans l'élément de modulation spatiale de la lumière peut être en outre utilisée.
a spatial light modulating element, constituted by a plurality of pixel portions for individually modulating light irradiated thereon
un élément de modulation spatiale de lumière, constitué d'une pluralité de zones de pixels qui modulent séparément la lumière irradiée sur celui-ci
an image exposure apparatus is provided with a spatial light modulating element wherein irradiated light is modulated at each of two-dimensionally arranged pixel sections
la présente invention concerne un appareil d'exposition d'image muni d'un élément de modulation de lumière spatiale, dans lequel une lumière irradiée est modulée dans chacune des sections de pixels disposées bidimensionnellement
a first optical system which collects the light passed through the spatial light modulating element and forms images of the pixel sections
un premier système optique qui collecte la lumière ayant traversé l'élément de modulation de lumière spatiale et forme des images des sections de pixels
; and a projection lens for projecting the light emitted from the two dimensional spatial light modulating element on a certain plane in the space.
ainsi que d'une lentille de projection pour projeter la lumière émise de l'élément de modulation de lumière spatial bidimensionnel sur un certain plan dans l'espace.
SPATIAL LIGHT MODULATING ELEMENT AND EXPOSURE EQUIPMENT
ÉLÉMENT DE MODULATION SPATIALE DE LA LUMIÈRE ET ÉQUIPEMENT D'EXPOSITION
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