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substrate alignment mark
Traduction de "substrate alignment mark" en français
marque d'alignement de substrat
A control device then aligns the substrate and the mask by using the substrate alignment mark and the reflected light from the mask alignment mark detected by the camera.
Un dispositif de commande aligne ensuite le substrat et le masque à l'aide de la marque d'alignement de substrat et de la lumière réfléchie par la marque d'alignement de masque détectée par la caméra.
generally, the substrate includes one or more locator marks adjacent to a substrate alignment mark
d'une manière générale, le substrat comprend une ou plusieurs marques de localisation adjacentes à une marque d'alignement de substrat
a lithographic projection apparatus with an off-axis alignment unit for aligning a substrate alignment mark with respect to a reference (RGP) is described
l'invention concerne un appareil de projection lithographique à unité d'alignement hors axe permettant d'aligner une marque d'alignement de substrat par rapport à une référence (RGP)
SUBSTRATE ALIGNMENT MARK AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND SUBSTRATE
MARQUE D'ALIGNEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE-CI, ET SUBSTRAT
A micro-lens array for optical exposure is present between a mask alignment mark and a substrate alignment mark, and as a result an upright unmagnified image reflected from the substrate alignment mark is formed on the mask.
Un réseau de microlentilles pour exposition optique est présent entre une marque d'alignement de masque et une marque d'alignement de substrat, et par la suite une image non agrandie droite réfléchie par la marque d'alignement de substrat est formée sur le masque.
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Synonymes et analogies de "substrate alignment mark" en anglais
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