un système et un procédé d'usinage laser ultrarapide pour former des structures de diffraction dans des fibres optiques
an ultrafast laser machining system and method to form diffractive structures in optical fibers
différents paramètres de rayonnement, tels que lés réflectivités rs, rp et des paramètres ellipsométriques peuvent être utilisés afin de mesurer les structures de diffraction et les films associés
different radiation parameters such as the reflectivities rs, rp and ellipsometric parameters may be used in measuring the diffracting structures and the associated films
un dispositif permettant la mise en oeuvre dudit procédé comprend un objet présentant des structures de diffraction et un récepteur de lumière qui est monté de façon à recevoir la lumière diffractée présentant au moins un ordre de diffraction supérieur à zéro.
a device for carrying out the above method comprises an object with diffracting structures, whereby a light detector is arranged such that it receives light with at least one order of diffraction greater than zero.
pourvu de trois champs présentant des structures de diffraction différentes
with three fields having different diffraction structures
intercalée entre les deux éléments d'interférence, ainsi qu'éventuellement des structures de diffraction
le système comprend en outre un élément de trame optique comprenant plusieurs microlentilles et/ou structures de diffraction
the system further comprises an optical raster element including a plurality of microlenses and/or diffractive structures
chaque sous-grille possède un ensemble périodique de structures de diffraction telles que des lignes ou autres éléments
each subgrating possesses a periodic array of diffraction structures, such as lines or other elements
Les structures de diffraction se caractérisent par de faibles valeurs de diffusion de lumière, une anisotropie élevée, un contraste de commutation élevé, une réponse électro-optique rapide et un domaine spectral accordable large.
The diffractive structures are characterized by low values of light scattering, high anisotropy, a high switching contrast, a fast electro-optical response and a wide tuneable spectral region.
Les signaux optiques sont divisés en une pluralité de composantes spectrales par les structures de diffraction (144).
The optical signals are divided into a plurality of spectral components by the diffraction structures (144).
Ces procédés peuvent être utilisés pour la commande du processus et la surveillance de la dérive de focalisation par détermination de la variation entre les champs de signatures de diffraction de plusieurs structures de diffraction dans une série de plaquettes.
The methods may be used for process control and monitoring of focus drift by determining intra-field variation of diffraction signatures of multiple diffraction structures in a series of wafers.
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