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Semiconductor device fabrication methods for inhibiting carbon out-diffusion from the semiconductor wafer
Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung zur Verhinderung die Ausdiffusion von Kohlenstoff aus einer Halbleiterscheibe
A process according to any preceding claim, wherein the dopant density of the doped layer (101b) is reduced by out-diffusion in a reducing gas atmosphere.
Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Dotierungsmitteldichte der dotierten Schicht (101b) durch Ausdiffusion in einer reduzierenden Gasatmosphäre vermindert wird.
Unterdrückte Ausdiffusion von Metallverunreinigungen.
A dopant out-diffusion (80), which is formed while leading out from the buried contact (60), is arranged inside the epitaxially grown layer (75).
In der epitaktisch aufgewachsenen Schicht (75) ist eine Dotierstoffausdiffusion (80) angeordnet, die aus dem vergrabenen Kontakt (60) heraus gebildet wird.
In order to verify the results obtained thereby and to obtain additional information on the role of the confining filters, through-diffusion was followed either by out-diffusion or tracer profile analysis.
Als zusätzliche Verifikation der hierbei erhaltenen Resultate und zum Zweck einer besseren Eingrenzung der Diffusivitäten in den begrenzenden Filtern wurden die Durchdiffusionsexperimente durch Out-diffusion oder durch eine Messung des Tracerprofils ergänzt.
The epitaxially grown layer (75) enables the dopant out-diffusion (80) to be further removed from a selection transistor (10) located next to the trench whereby permitting the prevention of short channel effects in the selection transistor (10).
Durch die epitaktisch aufgewachsene Schicht (75) ist die Dotierstoffausdiffusion (80) weiter von einem neben dem Graben angeordneten Auswahltransistor (10) entfernt, wodurch Kurzkanaleffekte in dem Auswahltransistor (10) vermieden werden können.
Reduction of undesired moisture retention in dielectric films to avoid subsequent H2 out-diffusion
Reduzierung unerwünschter Feuchtigkeit in dielektrischen Filmen zur Vermeidung eines folgenden H2-Ausgasens
A process according to any preceding claim wherein the reducing of the dopant density of the doped layer by out-diffusion is performed at a pressure in the range of 1.33 x 10 -5 Nm -2 to 6.65 x 10 4 Nm -2.
Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Vermindern der Dotierungsmitteldichte der dotierten Schicht durch Ausdiffussion bei einem Druck in dem Bereich von 1,33 x 10 -5 Nm -2 bis 6,65 x 10 4 Nm -2 ausgeführt wird.
The main goal has been the formation of a Ni-depleted surface, which should serve as a barrier to out-diffusion of Ni ions from the bulk material.
Hauptziel ist deswegen die Bildung einer Ni freien Oberfläche, die als Barriere gegen die Ausdiffusion von Ni aus dem Substratmaterial dienen soll.
METHOD TO PREVENT OXYGEN OUT-DIFFUSION FROM BASRTIO3 CONTAINING MICRO-ELECTRONIC DEVICE
METHODE DIE SAUERSTOFF - AUSDIFFUSION AUS BASRTIO3 HALTIGEN SCHICHTEN IN MIKROELEKTRONISCHEN ANORDNUNGEN ZU VERHINDERN
METHOD FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR COMPONENT WITH A SPECIFICALLY DOPED SURFACE REGION USING OUT-DIFFUSION, AND CORRESPONDING SEMICONDUCTOR COMPONENT
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTES MIT EINEM GEZIELT DOTIERTEN OBERFLÄCHENBEREICH UNTER VERWENDUNG VON AUS-DIFFUSION UND ENTSPRECHENDES HALBLEITERBAUELEMENT
In this way, out-diffusion of a component of the compound semiconductor is suppressed and the wafer may be processed without damage.
Auf diese Weise wird ein Ausdiffundieren einer Komponente des Verbindungshalbleiters unterdrückt und der Wafer kann schadensfrei prozessiert werden.
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