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cmp process
Vertaling van "cmp process" in Duits
CMP-Prozess
CMP-Prozesses
CMP-Verfahren
High purity is very important throughout the entire CMP process.
Eine hohe Reinheit ist im gesamten CMP-Prozess von großer Bedeutung.
Slurry and pure water can then be fed back to the CMP process.
Slurry und Reinstwasser können danach wieder dem CMP-Prozess zugeführt werden.
Non-uniform particle size and inhomogeneous particle size distribution causes severe damages to the polished surface during a CMP process.
Ungleichmäßige Partikelgröße und inhomogene Partikelgrößenverteilung verursachen schwere Schäden an der polierten Oberfläche während eines CMP-Prozesses.
In addition to slurry recycling systems, for use within the CMP process, HighQ-Factory GmbH can offer more products and comprehensive services.
Neben Slurry-Recyling-Anlagen zum Einsatz innerhalb des CMP-Prozesses bietet die HighQ-Factory GmbH weitere Produkte und umfangreiche Services.
Process according to either of Claims 10 and 11, characterized in that that part of the insulation material which is arranged above the level of the reference layer (12) is removed again by a CMP process.
Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil des Isolationsmaterials, der über der Höhe der Referenzschicht (12) angeordnet ist, durch ein CMP-Verfahren wieder entfernt wird.
The only known method to finely polish wafers for chip production is the CMP process (Chemical Mechanical Polishing).
Die einzig bekannte Methode zum Feinpolieren von Wafern aus der Chip-Produktion ist das CMP-Verfahren (Chemisch-mechanisches Polieren).
This enables the structuring of iridium layers with the aid of an oxide mask and a CMP process.
Dies ermöglicht die Strukturierung von Iridiumschichten mit Hilfe einer Oxidmaske und einem CMP-Prozess.
The challenge is to find a material with the desired characteristics, as the CMP process requires components made of highly qualified materials.
Daher liegt die Herausforderung darin, einen Werkstoff zu finden, der die gewünschten Eigenschaften aufweist, denn der CMP-Prozess erfordert Komponenten aus hoch qualifizierten Werkstoffen.
Use of a dispensing apparatus in accordance with any one of the preceding claims for the dispensing of suspensions, in particular of slurry, especially in a CMP process, or for the dispensing of photoresist.
Verwendung einer Abgabevorrichtung gemäss einem der vorangehenden Ansprüche zum Abgeben von Suspensionen, insbesondere von Slurry, speziell in einem CMP-Prozess, oder zum Abgeben von Fotolack.
The method of claim 3, wherein said CMP process is performed only once during simultaneous formation of said capacitor and said at least one conductive interconnect.
Verfahren nach Anspruch 3, wobei der CMP-Prozeß während der gleichzeitigen Ausbildung des Kondensators und des mindestens einen leitenden Interconnects nur einmal durchgeführt wird.
The above-described CMP process using a polishing solution (slurry) performs polishing while a relatively soft polishing cloth with the polishing solution (slurry) containing a large number of abrasive particles is supplied.
Der oben beschriebene CMP-Prozess, der eine Polierlösung (Schlämme) verwendet, führt eine Politur durch, während ein relativ weiches Poliertuch mit der Polierlösung (Schlämme), die eine große Anzahl von abrasiven Partikeln enthält, versorgt wird.
Method according to Claim 7 or 8, wherein the erosion in step (d) is carried out by etching with KOH or by a CMP process.
Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, wobei das Abtragen in Schritt (d) durch Ätzen mit KOH oder durch einen CMP-Prozeß erfolgt.
The CMP process involves the use of different slurries which take a heavy toll also on the handling components used.
Im CMP-Prozess werden verschiedene Poliermittel eingesetzt, die auch die Handling-Komponenten stark beanspruchen.
Synoniemen voor cmp process in het Engels
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