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diffusion source
Mittel und Verfahren zur Regelung einer Ablagerungs- und Diffusionsquelle.
Durch die Verwendung des Polyzids oder Silizids als Diffusionsquelle und als Anschluß für den Emitter sind kleinere Emitterweiten möglich.
The use of polycide or silicide as diffusion source and as terminal for the emitter makes smaller emitter widths possible.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dotierte polykristallien Siliziumschicht als eine Diffusionsquelle für die Bildung der erwähnten diffundierten Zone verwendet wird.
A method according to claim 1, wherein said doped polysilicon layer is used as a diffusion source for forming said diffused region.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der transparente, leitende Film wärmebehandelt wird, um den Phosphor in diesen von einer phosphorhaltigen Diffusionsquelle einzudiffundieren.
A fabricating method according to claim 9, wherein the transparent conductive film is heat treated for diffusing the phosphorus thereinto from a diffusion source containing phosphorus.
Dotierungsverfahren mittels einer adsorbierten Diffusionsquelle.
Impurity doping method with adsorbed diffusion source.
Verfahren nach Anspruch 6, bei dem die Diffusionsquelle (12) durch Aufbringen, Verfließen und Rückätzen einer dotierten Silikatglasschicht gebildet wird.
Method according to Claim 6, in which the diffusion source (12) is formed by applying, causing to flow and etching back a doped silicate glass layer.
Verfahren zur gleichzeitigen Diffusion des Basis- und p+-Profils aus einer einzelnen niedergeschlagenen Diffusionsquelle.
Process for concurrent formation of base diffusion and p+ profile from single source predeposition.
Plattenförmige Diffusionsquelle aus Cerium-Pentaphosphat für niedrige Temperaturdotierung.
Cerium pentaphosphate planar diffusion source for doping at low temperatures.
Es wird ganzflächig eine als Diffusionsquelle geeignete dotierte Schicht (11) aufgebracht.
A doped layer (11) suitable as a diffusion source is applied over the entire surface.
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