Prototyp der optischen Bank für ein satellitengestütztes Laserinterferometer im Reinraum.
Das Laserinterferometer zählt die Interferenzen von Laserlicht.
Laserinterferometer werden in der Regel mit annähernd monochromatischem Dauerstrich-Laserlicht betrieben.
Wenn Maschinenhersteller und -anwender die Positioniergenauigkeit prüfen, verwenden sie Laserinterferometer.
When machine manufacturers and operators want to test positioning accuracy, they use laser interferometers.
System und Verfahren gegen Störsignalen für Laserinterferometer unter Verwendung der frequenzabhängigen Hysterese
Die Objektverschiebung wird mit einem Laserinterferometer und einem kapazitiven Wegsensor gemessen.
The sample displacement is measured with a laser interferometer and an additional capacitive displacement sensor.
Messung mittels Autokollimator, Laserinterferometer und elektronischen Neigungswaagen
Measurements using autocollimators, laser interferometers, and electronic inclination balances
Die frühen Vorgänger unserer heutigen Laser Tracker nutzten Laserinterferometer zur Distanzmessung, was mühsam und zeitaufwendig war.
The early predecessors to today's laser trackers used laser interferometers to measure distance and were tedious and time consuming.
Knapp oberhalb der Spindel ist ein Laserinterferometer montiert, welches die Längsposition mit sehr hoher Genauigkeit erfasst.
Just above the spindle, a laser interferometer is mounted, which detects the longitudinal position with very high accuracy.
Die Bewegung des Objekttisches erfolgt über drei seriell angeordnete, lineare Antriebssysteme, die jeweils durch Laserinterferometer geregelt werden.
The object stage is moved via three linear driving systems which are position controlled by laser interferometers.
Minimaler zeitlicher Aufwand im Vergleich zu herkömmlichen Messmitteln (Prüfnormale oder konventionelle Laserinterferometer)
Minimum time expenditure compared to conventional measurement devices (reference standards or ordinary laser interferometers
Abschnitte der Steuerbewegung des Fotolithografiesystems eines illuminierenden Lasers über eine Halbleiterwaferfläche können durch ein Laserinterferometer gesteuert werden.
Portions of the control movement of the photolithography system of an illuminating laser across a semiconductor wafer surface may be controlled by a laser interferometer.
Bei Maschinen, die hohe Forderungen an die Genauigkeit erfüllen müssen, können diese Fehler durch die Vermessung der Maschine mit einem Laserinterferometer gemessen werden.
For machines that have to meet high requirements on accuracy, these errors can be measured by a laser interferometer.
