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of the test pattern
said test pattern
Stellen Sie sicher, dass die Farben des Testmusters korrekt sind.
Der Umfang des Testmusters hat jedoch mit der jüngsten Zunahme der Dichte hochintegrierter Schaltungen deutlich zugenommen.
The scope of the test pattern, however, has increased significantly with the recent increase in the density of highly integrated circuits.
System nach Anspruch 9, wobei die zentrale Logikeinheit die Erzeugung des Testmusters koordiniert.
The system as recited in claim 9, wherein said central logic unit coordinates generation of said test pattern.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Schreiben des Testmusters (301) in Sektoreinheiten erfolgt.
A method according to claim 1, wherein writing said test pattern (301) is performed in units of sector.
Ein System gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem unterschiedliche Abschnitte des Testmusters mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten gedruckt werden.
A system according to claim 1 or 2, wherein different portions of the test pattern are printed at different speeds.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Veränderungseinrichtung den Schwellwert entsprechend einer Farbe des Testmusters verändert.
An apparatus according to any of claims 1 to 3, wherein said changing means changes the threshold value in accordance with a colour of the test pattern.
Verfahren nach Anspruch 6, wobei die Bits des Testmusters, die durch zumindest eine Multiplexer-Schaltung (3) hindurch geschickt werden, identisch sind.
The method of claim 6, wherein bits of the test pattern sent through at least one multiplexer circuit (3) are identical.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Gruppe von Bereichen (140) des Testmusters unterschiedliche Bereichsbreiten aufweist.
An apparatus as in claim 8, characterised in that the first plurality of areas (140) of the test pattern are of variable width.
Untersuchungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei bei dem Schritt des Ableitens die Information direkt aus den Reflektionsspektren ohne Rekonstruktion des Testmusters erhalten wird.
An inspection method according to any one of claims 1 to 3 wherein in said step of deriving, said information is obtained directly from said reflection spectra, without reconstruction of the test pattern.
Das Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem der Testmustererfassungsschritt ferner ein Abtasten der Breite des Testmusters in einem einzigen Durchlauf des optischen Scanners aufweist.
The method according to claim 1, wherein said test pattern sensing step further comprises scanning the width of said test pattern in a single pass of said optical scanner.
Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, wobei der Schritt des Änderns das Verschieben von Bits des Testmusters umfaßt, die an eine Multiplexer-Schaltung (3) angelegt werden.
The method of claim 6 or 7, wherein the step of changing comprises shifting bits of the test pattern that are applied to a multiplexer circuit (3).
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Testmuster Pixelwerte besitzt, welche gleichmäßig über die Länge des Testmusters zwischen 0 und 255 variieren.
A method as claimed in any of claims 1 to 3, wherein the test pattern has pixel values uniformly varying between 0 and 255 over the length of the test pattern.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Schreiben des Testmusters (301) unter Verwendung eines Lichtstrahls und das Lesen dieses Testmusters anschließend unter Verwendung eines weiteren Lichtstrahls erfolgt.
A method according to claim 1, wherein writing said test pattern (301) is performed using a light beam and sequentially thereafter, reading said test pattern is performed using another light beam.
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