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CMP tool

Vertaling van "CMP tool" in Frans

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CMP
CMP PGPC CPM RdP PMC
tool
outil instrument moyen logiciel outillage
outil de cmp
Also various end point detection systems can be integrated in the CMP tool.
Des systèmes variés de détection de fin de polissage peuvent aussi être intégrés dans l'outil de CMP.
A typical CMP tool consists of a rotating platen, that is covered by a pad.
La machine classique de CMP consiste en un plateau rotatif recouvert d'un pad.
moreover, damage to the CMP tool surfaces from particulate scratching is also reduced
en outre, on réduit également les dommages aux surfaces des outils de polissage chimico-mécaniques dus aux rayures occasionnées par les particules
the present invention provides, in one embodiment, a CMP tool that includes a stationary bridge that houses a rack and pinion assembly
dans un mode de réalisation, l'invention concerne un outil de CMP qui comprend un pont fixe qui abrite un ensemble crémaillère
a wafer carrier for a CMP tool is adjustable to provide center fast to edge fast material removal from a semiconductor wafer
un porte-plaquette d'un outil de planarisation chimico-mécanique, CMP, que l'on règle pour permettre l'enlèvement rapide de matériau du centre à la bordure de la plaquette semiconductrice
The step of etching to form the recess may be carried out in the same CMP tool as is used to etch back the filling metal 36.
L'étape de gravure permettant de former l'évidement peut être réalisée dans le même outil CMP que celui utilisé pour effectuer la gravure en retrait du métal d'apport (36).
a modular control system and method for a cmp tool
système de commande modulaire et procédé pour outil de planarisation chimico-mécanique
method for relating photolithography overlay target damage and chemical mechanical planarization (cmp) fault detection to cmp tool identification
procédé permettant de lier la détection d'erreur de planarisation mécanique et chimique (cmp) et les dommages de cible de recouvrement photolithographique à l'identification de l'outil de cmp
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Synoniemen voor CMP tool in het Engels

Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
mop: cleaning tool with absorbent material on a handle
Ontdek het woord
mop
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