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determining overlay error

Vertaling van "determining overlay error" in Frans

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determining
déterminer détermination déterminant établir déterminants
overlay error
erreur de superposition erreur de recouvrement désalignement des masques erreur de chevauchement erreur de désalignement
déterminer l'erreur de superposition
déterminer une erreur de recouvrement
methods and systems for determining overlay error based on target image symmetry
procédés et systèmes destinés à déterminer l'erreur de superposition basée sur la symétrie d'images cibles
Disclosed are techniques, apparatus, and targets for determining overlay error between two layers of a sample.
L'invention concerne des techniques, un appareil et des cibles pour déterminer une erreur de superposition entre deux couches d'un échantillon.
Methods for determining overlay error based on measured asymmetry can be used with existing measurement tools and systems.
Les procédés pour déterminer l'erreur de superposition sont basés sur la mesure de l'asymétrie, qui peuvent s'utiliser en dehors des outils et systèmes de mesure existants.
A method of marking and a method of determining overlay error are also described.
Un procédé de repérage et un procédé de détermination d'erreur de superposition sont également décrits.
another aspect of the present invention relates to methods for determining overlay error from the continuously varying offset mark
un autre aspect de l'invention concerne des procédés pour déterminer une erreur de recouvrement à partir du repère de décalage variant en continu
A method of marking and a method of determining overlay error are also described.
L'invention concerne également un procédé de marquage et un procédé de détermination d'une erreur de superposition.
the present invention relates to overlay marks and methods for determining overlay error
l'invention concerne des repères de recouvrement et des procédés permettant de déterminer une erreur de recouvrement
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Synoniemen voor determining overlay error in het Engels

Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
lighter: device producing a flame for lighting things
Ontdek het woord
lighter
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