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overlay error
Vertaling van "overlay error" in Frans
erreur de superposition
erreur de recouvrement
désalignement des masques
erreur de désalignement
erreur de chevauchement
erreur de revêtement
This spatially varying overlay error budget can be used to disposition wafers.
Ce budget d'erreur de superposition variable spatialement peut être utilisé pour disposer des plaquettes.
In some other embodiments, overlay error is determined from images of specialized target structures.
Selon certains autres modes de réalisation, une erreur de superposition est déterminée à partir d'images de structures cibles spécialisées.
The asymmetry is used to determine the overlay error.
L'asymétrie est utilisée pour déterminer l'erreur de recouvrement.
a metrology for determining bias or overlay error in lithographic processes
une métrologie permettant de déterminer un biais ou une erreur de recouvrement dans des procédés lithographiques
A model is used to simulate these differences and thus a more accurate measurement of the overlay error of the feature determined.
Un modèle est utilisé pour simuler ces différences, permettant ainsi une mesure plus précise du désalignement des masques de l'élément déterminé.
The overlay error of the required feature in the chip area may differ from this due to, for example, different responses to the exposure process.
Le désalignement des masques de l'élément souhaité dans la zone de la puce peut différer de celui de la cible en raison, par exemple, de différentes réactions au procédé d'exposition.
using constructed spectra, the overlay error may then be determined.
en utilisant des spectres construits, l'erreur de superposition peut alors être déterminée.
methods and systems for determining overlay error based on target image symmetry
procédés et systèmes destinés à déterminer l'erreur de superposition basée sur la symétrie d'images cibles
Additionally, the spatially varying overlay error budget can be employed to determine if wafers are fabricated in compliance with specifications.
De plus, le budget d'erreur de superposition spatialement variable peut être utilisé pour déterminer si les plaquettes sont fabriquées conformément à des spécifications.
Disclosed are techniques, apparatus, and targets for determining overlay error between two layers of a sample.
L'invention concerne des techniques, un appareil et des cibles pour déterminer une erreur de superposition entre deux couches d'un échantillon.
Methods for determining overlay error based on measured asymmetry can be used with existing measurement tools and systems.
Les procédés pour déterminer l'erreur de superposition sont basés sur la mesure de l'asymétrie, qui peuvent s'utiliser en dehors des outils et systèmes de mesure existants.
Wavelengths that do not have a linear response to overlay error may be excluded from the measurement error.
Les longueurs d'onde qui ne présentent pas une réponse linéaire à l'erreur de recouvrement peuvent être exclues de l'erreur de mesure.
a first overlay error associated with the first layer is measured
une première erreur de recouvrement associée à la première couche est mesurée
Synoniemen voor overlay error in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Suggesties
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