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first load lock
Vertaling van "first load lock" in Frans
premier sas de charge
a first device isolates the processing chamber from the first load lock
un premier dispositif sépare la chambre de traitement du premier sas de charge
a gravity-few in-line continuous processing system includes at least one processing chamber disposed between a first load lock and a second load lock
un système de traitement continu en ligne alimenté par gravité qui comprend au moins une chambre de traitement placée entre un premier sas de charge et un second sas de charge
a substrate processing apparatus, substrate transport and load lock assembly comprising a first load lock, a first substrate elevator, and a transport robot
un appareil de traitement de substrats, un ensemble de transport de substrats et de chargement, l'ensemble comprenant un premier sas de chargement, un premier dispositif de levage de substrats et un robot de transport
a substrate transfer device, wherein the connection parts of a transfer chamber to a first load lock chamber
l'invention concerne un dispositif de transfert de substrats caractérisé en ce que les connexions d'une chambre de transfert située entre un premier sas
also venting for a first one of the load locks is started as soon as the second load lock becomes the substrate source for the internal robot rather than waiting until the first load lock has been refilled with processed substrates.
on commence aussi la ventilation du premier blocage de charge dès que le second blocage de charge devient la source du substrat pour le robot interne plutôt que d'attendre que le premier blocage de charge soit rempli à nouveau de substrats traités.
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Synoniemen voor first load lock in het Engels
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