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load lock
Vertaling van "load lock" in Frans
verrouillage de charge
de blocage de charge
sas de charge
verrou de charge
verrouillage de chargement
de chargement-déchargement
fixation de charges
bloc de chargement
verrouillée par pression
sas de chargement
In particular, these films may be formed in a configuration of two or more chambers under "load lock" conditions.
En particulier, ces films peuvent être formés selon une configuration de deux, ou plus, chambres dans des conditions de « verrouillage de charge ».
disposed at an end part opposite to the load lock chamber are connected in series
disposée sur une partie d'extrémité opposée à la chambre de verrouillage de charge, tous ces élémenst étant montés en série
for placing a wafer thereon is installed in the load lock chamber
permettant de placer une tranche est installée dans la chambre de blocage de charge
equipment of manufacturing a semiconductor device, wherein a load lock chamber
un équipement de fabrication d'un dispositif semi-conducteur, une chambre de blocage de charge
are set as load lock chambers.
sont conçues pour servir de sas de charge.
a first device isolates the processing chamber from the first load lock
un premier dispositif sépare la chambre de traitement du premier sas de charge
is connected to the load lock chamber
est connecté à la chambre de blocage de charge
The present invention generally includes a load lock chamber for transferring large area substrates into a vacuum processing chamber.
La présente invention concerne généralement une chambre de blocage de charge pour transférer des substrats à grande superficie dans une chambre de traitement sous vide.
by using liquid nitrogen is disposed on the outside of the load lock chamber
au moyen d'un azote liquide est disposé sur l'extérieur de la chambre de blocage de charge
When a substrate is inserted into the load lock chamber from the factory interface, the environment may need to be evacuated.
Lorsqu'un substrat est inséré dans la chambre de blocage de charge à partir d'une interface usine, il est possible qu'il faille vider l'environnement.
after film formation from substrate retention tool and load lock chamber
d'un outil de retenue de substrat après la formation de film, et la chambre de blocage de charge
The load lock chamber may have one or more separate, environmentally isolated environments.
La chambre de blocage de charge peut comporter un ou plusieurs environnements séparés, isolés de façon environnementale.
A wafer handling chamber is in selective communication with the load lock chambers.
Une enceinte de manipulation de plaquettes est en communication sélective avec les sas.
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Synoniemen voor load lock in het Engels
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