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load lock assembly
Vertaling van "load lock assembly" in Frans
ensemble de sas
In a first embodiment, a load lock assembly, comprising two load lock chambers configured to accommodate a multiplicity of large substrates, is coupled to a processing chamber with an input/output port.
Dans un premier mode de réalisation, un ensemble de sas comprenant deux chambres à sas, configurées afin d'héberger une multiplicité de grands substrats, est couplé à une chambre de traitement à orifice d'entrée/sortie.
the present invention provides a load lock assembly for a high throughput ion implantation system that rapidly and efficiently processes large quantities of workpieces, such as flat panel displays
la présente invention concerne un ensemble de sas pour un système d'implantation d'ions à fort débit qui traite de grandes quantités de pièces, telles que des écrans d'affichage plats, rapidement et de manière efficace
additionally, the loadlocks of the array are configured to nest with an adjacent load lock to form a stackable and nestable load lock assembly.
en outre, les sas de ce groupement ont une forme telle qu'ils s'emboîtent avec un sas voisin pour former un assemblage emboîtable et pouvant être empilé.
the process chamber is in selective fluid communication with a load lock assembly, which in turn is mechanically integrated with a workpiece loading or end station
cette chambre de traitement est placé est en communication fluide sélective avec l'ensemble sas de changement lui-même intégré mécaniquement avec un poste de changement ou terminal
a substrate processing apparatus, substrate transport and load lock assembly comprising a first load lock, a first substrate elevator, and a transport robot
un appareil de traitement de substrats, un ensemble de transport de substrats et de chargement, l'ensemble comprenant un premier sas de chargement, un premier dispositif de levage de substrats et un robot de transport
The load lock assembly includes a plurality of load lock stacking elements (354) that are axially positioned relative to each other to form a stacked array of loadlocks.
L'ensemble comprend un certain nombre d'éléments (354) d'empilage de sas qui sont positionnés axialement, l'un par rapport à l'autre, pour former un groupement de sas empilés.
The load lock assembly (310) increases the throughput of the implantation system by continuously cycling workpieces through the process chamber (318), thus increasing the system's throughput.
Cet ensemble de sas (310) augmente le débit du système d'implantation en faisant passer de manière continue des pièces dans la chambre de traitement (318).
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Synoniemen voor load lock assembly in het Engels
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Afbeelding van de dag
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