photosensitive resin composition for mems and cured product thereof
mems type resonator, process for fabricating the same and communication unit
résonateur de type mems, son procédé de fabrication et unité de communication
method for manufacturing a microelectronic package comprising a silicon mems microphone
procédé de fabrication de boîtiers microélectroniques comprenant un microphone mems au silicium
mems switching circuit and method for an implantable medical device
circuit de commutation mems et procédé utile pour un dispositif médical implantable
capacitive area-changed mems gyroscope with adjustable resonance frequencies
gyroscope mems capacitif à changement de zone à fréquences de résonance ajustables
method of fabricating suspended beam in a mems process
procédé de fabrication d'un faisceau suspendu dans un processus mems
built in test for mems vibratory type inertial sensors
test intégré destiné à des capteurs inertiels de type vibratoires mems
temperature compensated oscillator including mems resonator for frequency control
oscillateur à température compensée comprenant un résonateur mems destiné à la commande de fréquence
temperature resistant hermetic sealing formed at low temperatures for mems packages
scellement hermétique thermorésistant formé à basses températures pour boîtiers mems
micromolds fabricated using mems technology and methods of use therefor
micromoules fabriqués au moyen de la technologie mems et procédés d'utilisation correspondants
wide and narrow trench formation in high aspect ratio mems
formation de tranchées larges et étroites dans un mems à rapport de forme élevé
microelectronic mechanical system (mems) switch and method of fabrication
commutateur de systèmes mécaniques microélectriques (mems) et son procédé de fabrication
the conductive nanomembrane, and mems sensor of using the same
nanomembrane conductrice, et capteur mems l'utilisant