Vertaling van "mems sensor" in Frans
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The response of the MEMS sensor is measured.
The present invention relates to a MEMS sensor packing and a method thereof.
La présente invention concerne une mise sous boîtier de capteur MEMS et à un procédé associé.
In this thesis, a brief background about high temperature MEMS sensor is introduced.
Dans ce mémoire, un bref historique sur les capteurs MEMS à haute température sera introduit.
The integrated MEMS sensor technology, based on microelectromechanical systems, can be used to monitor harmful influences on sensitive goods, such as knocks or temperature fluctuations.
Reposant sur des systèmes microélectromécaniques, les capteurs MEMS intégrés surveillent la présence d'influences nocives sur les produits sensibles, tels les chocs ou les variations de température.
A MEMS sensor includes a substrate having a MEMS structure movably attached to the substrate, a cap attached to the substrate and encapsulating the MEMS structure, and an electrode formed on the cap that senses movement of the MEMS structure.
Le détecteur MEMS selon l'invention comprend un substrat ayant une structure MEMS fixée de manière mobile à ce même substrat, un capot également fixé au substrat et enfermant la structure MEMS, et une électrode placée sur le capot pour détecter un mouvement de la structure MEMS.
MEMS SENSOR WITH CAP ELECTRODE
the conductive nanomembrane, and mems sensor of using the same
nanomembrane conductrice, et capteur mems l'utilisant
method for detecting accelerations and rotation rates, and mems sensor
procédé de détection d'accélérations et de vitesses de rotation, et capteur mems
mems sensor for detecting stress corrosion cracking
capteur mems servant à détecter la fissuration par corrosion sous contrainte
mems sensor with movable z-axis sensing element
Capacitance difference detecting circuit and mems sensor
Circuit de détection de différence de capacité et capteur mems
mems sensor comprising a deformation-free back electrode
capteur mems comprenant une électrode arrière sans déformation
mems sensor and detection device
capteur mems et dispositif de détection