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semiconductor processing device
Vertaling van "semiconductor processing device" in Frans
dispositif de traitement de semi-conducteurs
dispositif de traitement de semi-conducteur
alignment processing mechanism and semiconductor processing device using it
mécanisme d'alignement et dispositif de traitement de semi-conducteurs utilisant ce mécanisme
A multi-chamber semiconductor processing device comprises at least two micro-chambers for receiving and processing a semiconductor wafer.
Le dispositif de traitement de semi-conducteurs multi-chambre selon l'invention comprend au moins deux micro-chambres permettant de recevoir et de traiter une plaquette semi-conductrice.
variable gap stop which can be used in a semiconductor processing device
dispositif d'arrêt à intervalle variable pouvant être utilisé dans un dispositif de traitement de semi-conducteur
A semiconductor processing device has a port structure for carrying in and out a processing subject substrate (W).
L'invention concerne un dispositif de traitement de semi-conducteur comprenant une structure d'orifice permettant d'introduire ou de sortir un substrat (W) soumis à un traitement.
Multiple micro-chambers are disposed longitudinally, so that the multi-chamber semiconductor processing device can perform single wafer chemical processing on multiple semiconductor wafers at the same time.
Des micro-chambres multiples sont disposées longitudinalement, de sorte que le dispositif de traitement de semi-conducteurs multi-chambre puisse réaliser un seul traitement chimique de plaquette sur des plaquette semi-conductrices multiples en même temps.
the invention provides a system and method comprising an apparatus for removing contaminants from a gas in a semiconductor processing device, which can include a filter unit having at least two parallel filter stages located therein
l'invention concerne un système et un procédé comprenant un dispositif permettant d'éliminer les contaminants d'un gaz dans un dispositif de traitement de semi-conducteurs. le dispositif comprend une unité filtre contenant au moins deux étages de filtres parallèles
a fluorine gas supply system with which fluorine gas generated by a fluorine gas generator can be stably supplied in a large amount to a semiconductor processing device in a precise concentration
un système d'alimentation en gaz fluoré grâce auquel le gaz fluoré généré par un générateur de gaz fluoré peut être fourni de manière stable en grande quantité à un dispositif de traitement de semi-conducteur dans une concentration précise
HEATING CAVITY AND SEMICONDUCTOR PROCESSING DEVICE
CAVITÉ CHAUFFANTE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR
Provided are a wafer support apparatus and a semiconductor processing device having same.
L'invention concerne un appareil de support de tranche et un dispositif de traitement de semiconducteurs utilisant celui-ci.
the semiconductor processing device can input/output encrypted data from/to outside
le dispositif de traitement à semi-conducteurs peut entrer/sortir des données chiffrées de/vers l'extérieur
device for detecting wafer positioning failure on semiconductor processing device and method thereof
appareil permettant de détecter un mauvais placement de plaquette sur un équipement de traitement de semi-conducteurs et procédé associé
Synoniemen voor semiconductor processing device in het Engels
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Afbeelding van de dag
Suggesties
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