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substrate processing apparatus

Vertaling van "substrate processing apparatus" in Frans

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appareil de traitement de substrat

appareil de traitement de substrats

dispositif de traitement de substrat

dispositif de traitement de substrats

appareil de traitement du substrat

Provided is a substrate processing apparatus wherein throughput is not deteriorated.

La présente invention concerne un appareil de traitement de substrat, pour lequel le débit n'est pas détérioré.

A substrate processing apparatus for deposition on a wafer seated therein is disclosed.

L'invention porte sur un appareil de traitement de substrat pour un dépôt sur une tranche logée dans celui-ci.

substrate processing apparatus with motors integral to chamber walls

appareil de traitement de substrats à moteurs solidaires des parois de chambre

the configuration of the second integral chamber to the frame is selected in accordance with a predetermined characteristic of the substrate processing apparatus.

la configuration des secondes chambres solidaires du bâti par construction est sélectionnée selon une caractéristique prédéterminée de l'appareil de traitement de substrats.

A substrate support unit of a substrate processing apparatus includes a first support member, a second support member, a buffer member and a tube.

Ensemble de support de substrat associé à un dispositif de traitement de substrat et comprenant un premier élément de support, un deuxième élément de support, un élément tampon et un tube.

a substrate processing apparatus for reliably reporting the variation state of a recipe

un dispositif de traitement de substrat permettant de communiquer avec fiabilité l'état de variation d'une formule

According to one embodiment, the present invention provides a heater assembly for use in a substrate processing apparatus.

Selon une réalisation, l'invention prévoit un ensemble chauffant destiné à être utilisé dans un appareil de traitement de substrat.

a semiconductor substrate processing apparatus and method thereof

appareil de traitement de substrat semi-conducteur et procédé idoine

Disclosed is a substrate processing apparatus wherein the temperature in a reaction tube can be controlled accurately.

L'invention concerne un appareil de traitement de substrat dans lequel la température dans un tube de réaction peut être contrôlée avec précision.

a reflector for an ultraviolet lamp can be used in a substrate processing apparatus

un réflecteur pour une lampe à rayonnement ultraviolet, qui peut être utilisé dans un appareil de traitement de substrat

Also disclosed are a method for manufacturing a magnetoresistive effect element, and a substrate processing apparatus.

L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un élément à effet magnétorésistif, et un appareil de traitement de substrat.

A checklist used in starting the operation of a substrate processing apparatus is created more quickly and accurately than conventional.

Une liste de contrôle utilisée dans la mise en marche d'un appareil de traitement de substrat est créé plus rapidement et de manière plus précise que selon les procédés de l'art antérieur.