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substrate support
Vertaling van "substrate support" in Frans
support de substrat
porte-substrat
support de substrats
support du substrat
support à substrat
support pour substrat
soutien de substrat
porteur de substrat
supports de substrat
A second chamber volume may include a cooled substrate support.
Un deuxième volume de chambre peut comprendre un support de substrat refroidi.
The substrate support is coupled to a second power source.
Le support de substrat est couplé à une seconde source d'alimentation.
The substrate support is formed with a stiffness that permits very little departure from parallelism.
Le porte-substrat est réalisé avec une rigidité qui n'autorise qu'un très faible défaut de parallélisme.
A pumping plenum is located below the substrate support processing position, and is spaced apart therefrom.
Un collecteur de pompage est situé au-dessous de la position de traitement du porte-substrat et en est écarté.
A vacuum processing chamber having a substrate support removably mounted therein.
L'invention porte sur une chambre de traitement sous vide où est monté un support de substrats amovible.
The substrate support is easy to service or replace since it can be removed through a sidewall of the chamber.
Le support de substrats est facile à entretenir et à remplacer puisqu'il peut être extrait à travers l'une des parois latérales de la chambre.
A substrate support having an insulating surface may also be provided.
L'invention porte également sur un support de substrat ayant une surface isolante.
A substrate support is located within the growth chamber.
On a placé un support de substrat dans cette chambre.
The substrate support is removably mounted within the chamber.
Le support de substrat est monté amovible à l'intérieur du compartiment.
The substrate support ring comprises an annular body.
Le jonc de bordure de support de substrat comprend un corps annulaire.
The ring is disposed proximate the perimeter of the substrate support.
Cet anneau est disposé à proximité du périmètre du support de substrat.
A substrate support is provided for a lithographic apparatus.
L'invention concerne un support de substrat pour appareil lithographique.
The substrate support is fabricated from metal-free sintered silicon carbide.
Le support de substrat est fabriqué dans un carbure de silicium fritté sans métal.
Synoniemen voor substrate support in het Engels
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