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substrate support assemblies
Vertaling van "substrate support assemblies" in Frans
ensembles support de substrat
ensembles de support de substrat
Multiple substrates disposed on the substrate support assemblies are processed in and out the substrate processing platform.
De multiples substrats disposés sur les ensembles de support de substrat sont traités à l'intérieur et à l'extérieur de la plateforme de traitement de substrat.
A substrate processing system with independent substrate placement capability to two or more substrate support assemblies is provided.
L'invention concerne un système de traitement de substrat à capacité de placement de substrat indépendante sur deux ou plusieurs ensembles support de substrat.
The substrate staging platform includes at least one dual-substrate processing station, each dual- substrate processing station includes two substrate support assemblies for supporting two substrates thereon.
La plateforme d'étagement de substrat comprend au moins une station de traitement de double substrat, chaque station de traitement de double substrat comprenant deux ensembles support de substrat conçus pour supporter deux substrats.
Substrate support assemblies for a semiconductor processing apparatus are described.
L'invention concerne des ensembles de support de substrat pour un appareil de traitement de semi-conducteurs.
The substrate processing platform includes a rotary track system capable of supporting multiple substrate support assemblies and continuously rotating the substrate support assemblies, each carrying a substrate thereon.
La plateforme de traitement de substrat comprend un système de piste rotative capable de supporter de multiples ensembles de support de substrat et de mettre en rotation de manière continue les ensembles support de substrat, chacun portant dessus un substrat.
Synoniemen voor substrate support assemblies in het Engels
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