Membransensor-Array nach einem der vorhergehenden Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Stege (23) und ein Rahmenbereich (25) um die Stege im Vergleich zum verbleibenden Halbleitermaterial bevorzugt dotiert sind.
Membrane sensor array according to one of the preceding Claims 5 to 9, characterized in that the webs (23) and a frame region (25) around the webs are preferably doped in comparison with the remaining semiconductor material.
Verfahren zur Herstellung eines Membransensor-Arrays sowie Membransensor-Array
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Synonymes et analogies de "Membransensor-Array" en allemand
