The patterning device may have a side surface (220,222) having an edge in common with the major surface.
Le dispositif de structuration peut avoir une surface latérale (220,222) ayant un bord en commun avec la surface majeure.
The programmable patterning device is configured to provide a plurality of radiation beams.
Le dispositif de modélisation programmable est configuré pour produire une pluralité de faisceaux de rayonnement.
A lithographic apparatus having a programmable patterning device and a projection system.
La présente invention concerne un appareil lithographique qui présente un dispositif de modélisation programmable et un système de projection.
The method further includes clamping the patterning device to a support within the lithographic apparatus using an applied voltage.
Le procédé comprend en outre le pinçage du dispositif de modélisation à un support dans l'appareil lithographique à l'aide d'une tension appliquée.
Afterwards, the patterning device is removed, along with any particles on the material layer, from the support.
Ensuite, le dispositif de modélisation est retiré, avec toute particule sur la couche de matière, du support.
Lithographic apparatus and controllable patterning device utilizing a spatial light modulator with distributed digital to analog conversion
Appareil de lithographie et dispositif de formation de motifs contrôlable utilisant un modulateur spatial de lumière avec conversion numérique analogique distribuée
The lithographic apparatus further includes a movable stage comprising a support structure that may be configured to support a patterning device.
L'appareil lithographique comprend en outre un étage mobile qui comprend une structure de support qui peut être conçue pour supporter un dispositif de formation de motifs.
configurable patterning device and a method of making integrated circuits using such a device
dispositif de formation de motifs configurable et procédé de production de circuits intégrés au moyen de ce dispositif
The patterning device is capable of imparting the radiation beam with a pattern in its cross-section to form a patterned radiation beam.
Le dispositif de formation de motifs est en mesure de conférer au faisceau de rayonnement un motif dans sa section transversale afin de former un faisceau de rayonnement à motif.
The method includes loading a patterning device (302) into a lithographic apparatus.
Le procédé comprend le chargement d'un dispositif de modélisation (302) dans un appareil lithographique.
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