The optical column has a programmable patterning device configured to provide a plurality of radiation beams and a projection system configured to project the plurality of beams onto the substrate.
Cette colonne optique comporte un dispositif programmable de formation de motifs conçu pour obtenir une pluralité de faisceaux de rayonnement et un système de projection conçu pour projeter ladite pluralité de faisceaux sur le substrat.
A system for controlling the focus of a maskless lithographic apparatus is provided, in which a projection system for projecting an image of a programmable patterning device onto a substrate is provided.
L'invention porte sur un système pour commander la focalisation d'un appareil lithographique sans masque, dans lequel système un système de projection pour projeter une image d'un dispositif de réalisation de motifs programmable sur un substrat est disposé.
LITHOGRAPHIC APPARATUS, PROGRAMMABLE PATTERNING DEVICE AND LITHOGRAPHIC METHOD
METHOD OF CONTROLLING A PROGRAMMABLE PATTERNING DEVICE IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN DISPOSITIF DE FORMATION DE DESSINS DANS UN APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
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Synonymes et analogies de "programmable patterning device" en anglais