Examples with "Absorptionsmusters" and their translation in Engels
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Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach Durchführung der Stufe (c) in einer zusätzlichen Stufe (f) eine Plasmadotierung der Oberseite und der Seiten des Absorptionsmusters für Röntgenstrahlen erfolgt.
The method according to claim 1, characterized by further comprising step (f) of plasma doping the top and sides of the X-ray absorber pattern after step (c).
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mustergebung durch reaktive Plasmaätzung unter Verwendung eines Ätzgases, welches ein mit dem Absorptionsmittel für Röntgenstrahlen reaktionsfähiges Gas enthält, erfolgt, um in der Oberfläche des Absorptionsmusters für Röntgenstrahlen einen eine Gasinfiltration verhindernden Film zu bilden.
The method according to claim 1, characterized in that the patterning is carried out by reactive plasma etching using an etching gas that contains a gas reactive with said X-ray absorber, thereby forming a gas infiltration-preventing film in the surface of the said X-ray absorber pattern.
Der prominenteste Teil dieses Absorptionsmusters entsteht durch die Lyman-Alpha-Absorptionslinie des Wasserstoffgases.
The most prominent of these absorption patterns is caused by the Lyman-alpha absorption line of hydrogen gas.
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