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A method as claimed in claim 4, wherein the step-and-repeat goes from row to adjacent row in a zigzag pattern.
Verfahren nach Anspruch 4, bei dem das Schritt-und Wiederhol-Verschieben von einer Zeile zur nächsten in einem Zickzackmuster verläuft.
An apparatus according to any preceding claim, adapted to project the image of the pattern sequentially onto different portions of the substrate (W) through a step-and-repeat process.
Gerät gemäß einem vorhergehenden Anspruch, das angepasst ist, um das Bild des Musters sequentiell auf verschiedene Teile des Substrats (W) durch ein Schrittund Wiederholungsverfahren zu projektieren.
A method according to any one of claims 1 to 8, further comprising the step of printing the large area or a substantial part of that area in a small number of step-and-repeat operations onto a large substrate.
Verfahren gemäss einem der Ansprüche 1 bis 8 weiter gekennzeichnet dadurch, dass die grosse Fläche oder ein wesentlicher Teil von dieser Fläche in einer kleinen Zahl von schrittweisen Repetieroperationen auf ein grosses Substrat kopiert werden.
A step-and-repeat exposure apparatus comprising: an excimer laser generator according to claim 1; and a stage (1003) for carrying a substrate.
Gerät zur schrittweisen Belichtung mit einem Excimerlasergenerator nach Anspruch 1 und einem Tisch (1003) zum Tragen eines Substrats.
The imaging is done in step-and-repeat technique in a scale of 1:1 in atmospheric pressure or low pressure in helium atmosphere (about 10.000 Pa).
Die Abbildung erfolgt im 1:1 Step-and-Repeat-Verfahren durch Schattenwurf, und wird unter Atmosphärendruck in Luft oder bei leichtem Unterdruck in Heliumatmosphäre (ca. 10.000 Pa) durchgeführt.
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