The electrode has a nonuniform thickness resulting from a plasma processing operation performed in the reactor chamber.
L'électrode présente une épaisseur non uniforme résultant d'un traitement au plasma effectué dans la chambre de réaction.
Embodiments of the present invention include an improved method of forming a thin film solar cell device using a plasma processing treatment between two or more deposition steps.
Les modes de réalisation de la présente invention comprennent un procédé amélioré de formation d'une pile solaire à films minces en utilisant un traitement au plasma entre deux étapes de dépôt ou plus.
The arrangement is positioned within a plasma processing system is provided.
The apparatus can be formed as an integral part of a plasma processing chamber.
Disclosed is a plasma processing apparatus wherein an electrical field between the electrodes is strengthened.
Dans ledit appareil, un champ électrique entre les électrodes est renforcé.
In an exemplary embodiment, a plasma processing chamber is provided.
A gas distribution apparatus for a plasma processing equipment is provided.
the system includes a plasma processing chamber, a substrate support
le système comprend une chambre de traitement au plasma, un support
method for producing a polymer laminate comprising a plasma processing activation step
A system for facilitating seasoning a plasma processing chamber.
L'invention concerne un système qui permet de faciliter la stabilisation d'une chambre de traitement au plasma.
a plasma processing chamber formed by a vacuum container
segmented baffle plate assembly for a plasma processing system
ensemble chicane en plusieurs parties destiné à un système de traitement au plasma
automated electrode replacement apparatus for a plasma processing system
appareil de remplacement automatisé d'une électrode dans un système de traitement au plasma