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a processing plasma
Vertaling van "a processing plasma" in Frans
un plasma de traitement
system for characterizing ac properties of a processing plasma
système de caractérisation des propriétés d'un plasma de traitement à courant alternatif
The present invention employs a plurality of small inductive antennas to generate a processing plasma.
Dans la présente invention, on utilise une pluralité de petites antennes inductives pour produire un plasma de traitement.
upper and lower plasma generating electrodes for generating a processing plasma in the plasma region by transmitting electrical power from a power source to the plasma region while a gas is present in the plasma region
des électrodes supérieure et inférieure destinées à générer un plasma de traitement dans la région de plasma en transmettant un courant électrique d'une source d'alimentation électrique à la région de plasma au moment où un gaz est présent dans la région de plasma
A source power antenna (20), capable of generating a processing plasma, confronts a portion of the at least one wall.
Une antenne d'alimentation en énergie (20), capable de générer un plasma de traitement, est mise en contacte avec une portion de la/les paroi(s) (10).
The present invention provides an apparatus and method, for plasma assisted processing of a workpiece, which provides for separate control of species density within a processing plasma.
L'invention concerne un dispositif et un procédé convenant au traitement au plasma d'une pièce, et permettant de régler séparément la densité des espèces dans un plasma de traitement.
each cell of the honeycomb structure has an aspect ratio of length to diameter sufficient to impede a processing plasma from traveling through the full length of the cell
chaque cellule de la structure en nid d'abeilles présente un rapport de forme de longueur et de diamètre suffisant pour empêcher que le plasma de traitement ne traverse toute la longueur de la cellule
a method of operating a plasma processing system is provided that includes adjusting a background pressure in a process chamber, where the background pressure is established by flowing a first gas flow using a gas injection system, and igniting a processing plasma in the process chamber
l'invention porte également sur un système de traitement au plasma permettant de régler la pression de fond de la chambre de traitement en y transportant un premier courant de gaz à l'aide d'un dispositif d'injection de gaz et en y allumant le plasma de traitement
circuitry and techniques designed to allow stable and continuous delivey of alternating power to a processing plasma with switch-mode power supply include a variety of embodiments
des circuits et des techniques ont été conçus selon différents modes de réalisation pour permettre une alimentation stable et continue en courant alternatif à un dispositif de traitement au plasma à alimentation en courant à mode de commutation
A method of operating a plasma processing system is provided that includes adjusting a background pressure in a process chamber, where the background pressure is established by flowing a first gas flow using a gas injection system, and igniting a processing plasma in the process chamber.
Cette invention concerne également un procédé permettant de faire fonctionner un système de traitement au plasma, lequel procédé consiste à ajuster une pression d'arrière-plan dans une enceinte de traitement.
Synoniemen voor a processing plasma in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Suggesties
Resultaten: 9. Exact: 9. Verstreken tijd: 60 ms.
