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erste Ätzen
ersten Ätzschritt
ersten Ätzabschnittes
erste Ätzschritt
erste Ätzprozess
erste Ätzverfahren
The method of any preceding claim, wherein the first etching is carried out at a first pressure and the second etching is carried out at a second pressure, the second pressure being lower than the first pressure.
Das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das erste Ätzen bei einem ersten Druck ausgeführt wird und das zweite Ätzen bei einem zweiten Druck ausgeführt wird, wobei der zweite Druck niedriger ist als der erste Druck.
The method of claim 4 wherein the first etching is performed with an oxide etchant gas, and wherein the second etching is performed using a nitride etchant gas.
Verfahren nach Anspruch 4, wobei das erste Ätzen mit einem Oxidätzgas durchgeführt wird und wobei das zweite Ätzen unter Verwendung eines Nitridätzgases durchgeführt wird.
The first etching operation can also be dispensed with in this process.
Auf den ersten Ätzvorgang kann dabei auch verzichtet werden.
After the first etching, the motif is matte and has a closed structure.
Nach dem ersten Ätzgang ist das Motiv Matt und hat eine geschlossene Struktur.
He completed his first etching in 1628 and worked from then on as a teacher.
1628 erstellte er seine erste Radierung und betätigte sich nun selbst als Lehrkraft.
A preferred embodiment contains two etching periods, whereby a higher accelerator voltage is used during the first etching period than during the second etching period.
Bevorzugt sind zwei Ätzabschnitte vorgesehen, wobei während des ersten Ätzabschnittes eine höhere Beschleunigungsspannung verwendet wird als währen des zweiten Ätzschrittes.
In the method of manufacturing a transistor will be at least a trench by means of a mask which is located on a crystal structure of a substrate, and formed by a first etching method.
Bei dem Verfahren zum Herstellen eines Transistors wird mindestens ein Graben mittels einer Maske, welche sich auf einer Kristallstruktur eines Substrats befindet, und mittels eines ersten Ätzverfahrens gebildet.
A method according to claim 1, wherein the first etching step includes the step of exposing said polysilicon film to a medium containing phosphoric acid.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei der erste Ätzschritt den Schritt Aussetzen des Polysiliziumfilms einem Medium, welches eine Phosphorsäure enthält, aufweist.
In 1757 he began experimenting in intaglio printing as can be seen from the fact that his first etching was dated in the same year.
1757 begann er mit dem Tiefdruck zu experimentieren, denn aus diesem Jahr datiert seine erste Radierung.
An etching method as set forth in claim 7, characterized in that grooves are also formed in at least one of said other zones during the first etching step.
Ätzverfahren gemäss Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass während des ersten Ätzschrittes Furchen ebenfalls in zumindest einer der benannten anderen Zonen gebildet werden.
A method as recited in claim 1, further comprising conducting rinsing of the surface of said thin metal plate with water after said first etching step.
Verfahren nach Anspruch 1, das weiterhin das Durchführen des Spülens der Oberfläche der dünnen Metallplatte mit Wasser nach dem ersten Ätzschritt umfaßt.
The method as claimed in claim 4, wherein the first etching process and the second etching process are plasma etching processes.
Verfahren nach Anspruch 4, bei dem der erste Ätzprozess und der zweite Ätzprozess Plasmaätzprozesse sind.
A method for manufacturing an optical module, wherein a first etching and a second etching as defined by one of the claims 1 to 13 has been reversed.
Verfahren zum Herstellen eines optischen Moduls, wobei ein erstes Ätzen und ein zweites Ätzen, wie sie durch einen der Ansprüche 1 bis 13 definiert sind, umgekehrt worden sind.
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