This used to be generally done via plasma etching in a batch oven.
Früher wurde dies generell mittels Plasmaätzen in einem Batch-Ofen durchgeführt.
There are a variety of applications for plasma etching.
Method of plasma etching metals that form usually low volatility chlorides.
Verfahren zum Plasma-Ätzen von metallischen Werkstoffen, die üblicherweise niedrig flüchtige Chloride bilden.
Process for plasma etching of vias in a dielectric layer with removal of residues
Verfahren zum Plasma-Ätzen von Kontaktlöchern in einer dielektrischen Schicht mit Beseitigung der Rückstände
The glass discs are made of tempered glass with direct-to-glass mastering and plasma etching.
Die Glas Discs werden aus temperiertem Glas mit Direkt-ins-Glass-Mastering und Plasmaätzung hergestellt.
Device for manufacturing a mask by plasma etching of a semiconductor substrate
Vorrichtung zur Herstellung einer Maske für die Plasmaätzung eines Halbleitersubstrats
Materials and methods for plasma etching of oxides and nitrides of silicon.
Materialien und Verfahren zum Plasmaätzen von Oxyden und Nitriden von Silizium.
Methods of coating plasma etch chambers and apparatus for plasma etching workpieces.
Methoden zum Beschichten von Plasmaätzkammern, sowie Vorrichtung zum Plasmaätzen von Werkstücken.
Jenoptik is one of the few companies in the world to offer plasma etching.
Jenoptik ist eines der wenigen Unternehmen weltweit, das Plasmaätzen anbietet.
In-situ photoresist capping process for plasma etching.
Verfahren zur in-situ-Herstellung einer Schutzschicht auf Photolack für Plasmaätzen.
The coupling device is highly suitable for use in plasma etching in high-frequency discharges.
Die Einkopplungsvorrichtung eignet sich sehr gut zum Einsatz beim Plasmaätzen in Hochfreguenzentladungen.
This is done nowadays by dry etching or plasma etching.
Heutzutage geschieht dies durch Trocken- oder Plasmaätzen.
Process and tubular reactor for vapour-phase deposition and for plasma etching.
Verfahren und Rohrreaktor zur Dampfphasenabscheidung und zum Plasmaätzen.