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PUNKTLICHTQUELLEN-ARRAY
SWITCHED POINT LIGHT SOURCE ARRAY AND ITS USE IN INTERFEROMETRY
The invention relates to a switched point light source array and to its use in the interferometry measurement of specimen surfaces.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein schaltbares Punktlichtquellen-Array oder SLM sowie dessen Verwendung zur interferometrischen Vermessung von Prüflingsoberflächen insbesondere mit asphärischen Oberflächen.
Incorporation of the point light source array into an interferometer allows the very exact production of known wave fronts having different propagation directions as reference waves that can be switched and phase-shifted independently.
Durch Einbau des Punktlichtquellen-Arrays in ein Interferometer lassen sich sehr genau bekannte Wellenfronten unterschiedlicher Ausbreitungsrichtung als Referenzwellen erzeugen, die sich unabhängig voneinander schalten und in ihrer Phase schieben lassen.
Andere resultaten
Optical apparatus according to claim 9, characterized in that the beam source (100,200, 300) comprises a laterally disposed to the radiation, in particular linear array of point light sources.
Optischer Aufbau nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlquelle (100,200, 300) ein lateral zur Abstrahlrichtung angeordnetes, insbesondere lineares Array von Punktlichtquellen umfaßt.
The detecting apparatus according to claim 1 or 2 wherein said point source light emitting means (32) comprises a tightly clustered diode array substantially emulating a point light source.
METHOD FOR HIGH PRECISION OPTICAL DISTANCE MEASUREMENT USING AN ADJUSTABLE POINT LIGHT SOURCE AND MULTI-CHANNEL CCD SENSOR ARRAYS BASED ON OPTICAL TRIANGULATION AND POINT BY POINT SCANNING, ESPECIALLY CONTACTLESS MEASUREMENT OF THREE DIMENSIONAL OBJECTS
VERFAHREN ZUR HOCHPRÄZISEN OPTISCHEN DISTANZMESSUNG MITTELS EINER REGELBAREN PUNKTLICHTQUELLE UND MEHRKANALIGEN CCD-SENSORANORDNUNGEN AUF DER BASIS OPTISCHER TRIANGULATION UND PUNKTWEISER ABTASTUNG, INSBESONDERE ZUM BERÜHRUNGSLOSEN VERMESSEN VON DREIDIMENSIONALEN OBJEKTEN
Adaptive absolute angle sensor according to claim 23, characterized in that one point light source (101) and two photodetector linear arrays (103,104), which are arranged one above the other at different distances from the light source (101), are provided.
Adaptiver absoluter Winkelsensor nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß eine punktförmige Lichtquelle (101) und zwei in unterschiedlichem Abstand zur Lichtquelle (101) übereinander angeordnete Fotodetektorzeilen (103,104) vorgesehen sind.
However, the shielding member makes it even harder to illuminate the focal point by the light source when a rod lens array of a short conjugate distance is used.
Jedoch gestaltet es das Abschirmungsbauteil noch schwieriger, den Brennpunkt durch die Lichtquelle zu beleuchten, wenn ein Stablinsenarray mit einem kurzen Paarabstand Verwendung findet.
Instead of one point in the brain, we can devise devices that span the brain, that can deliver light into three-dimensional patterns - arrays of optical fibers, each coupled to its own independent miniature light source.
Anstatt nur einen Punkt zu aktivieren, können wir Geräte entwickeln, die das ganze Gehirn umspannen und das Licht in dreidimensionalen Mustern ausstrahlen kann - Anordnungen optischer Fasern, jeweils angeschlossen an die eigene unabhängige Miniaturlichtquelle.
In another aspect disclosed herein, a multibeam light source may alternatively includes a plurality of semiconductor laser arrays each provided with a plurality of light emitting points in a single package in place of the above-mentioned single laser array.
Bei einem anderen Aspekt, welcher hierin offenbart wird, kann eine Mehrstrahllichtquelle anstelle des oben erwähnten einzelnen Laser-Arrays alternativ eine Vielzahl von Halbleiterlaser-Arrays beinhalten, von denen jedes mit einer Vielzahl von Licht emittierenden Punkten in einem einzigen Bauelement ausgestattet ist.
The present embodiment of the multibeam light source is detailed above in terms of four light emitting points 1a1 ∼ 1a4 in the semiconductor laser array.
The area of the central region is typically less than 50% of the surface that is a maximum luminance point 3 in the array 2 of light sources.
Die Fläche des zentralen Bereiches ist typischerweise kleiner als 50 % der Fläche, die maximal einem Leuchtpunkt 3 in dem Array 2 von Lichtquellen zur Verfügung steht.
1 This has the consequence that the actual effective radiating surface includes only the areas of the individual light points 3 and not the total surface of the array of light sources.
Diese hat zur Folge, dass die tatsächliche wirksame Abstrahlfläche lediglich die Flächen der einzelnen Leuchtpunkte 3 und nicht die gesamt Fläche des Arrays von Lichtquellen 2 umfasst.
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