The insulator is removed at a higher rate than the etch stop layer.
An etch penetrates to the thin etch stop layer.
The etch stop layer is used as an etch stop for etching openings in the interlayer dielectric.
photomask having an internal substantially transparent etch stop layer
photomasque comprenant une couche d'arrêt de gravure interne sensiblement transparente
Alternatively, the etch stop layer comprises a transparent material that can remain intact ion the mask structure.
En variante, la couche d'arrêt de gravure comprend un matériau transparent pouvant rester intact dans la structure du masque.
These coatings also eliminate the need for a separate etch stop layer in the device design.
Ces revêtements éliminent également la nécessité d'une couche d'arrêt de gravure séparée dans la conception du dispositif.
The portion above the etch stop layer has the shape of a mesa.
La portion placée au-dessus de la couche d'arrêt de gravure à la forme d'une table.
an alignment feature pattern is formed in the etch stop layer
un motif de caractéristiques d'alignement est formé dans la couche d'arrêt de gravure
In so doing, the present embodiment eliminates the presence of superfluous etch stop layer material.
Ce procédé élimine ainsi la présence d'une matière de couche d'arrêt de gravure superflue.
a buried etch stop layer for fabricating stepped etched structures has a patterned recess
une couche d'arrêt de gravure enfouie destinée à fabriquer des structures gravées en gradin qui présente un évidement de motif
A silicon-containing etch stop layer provides easy placement of a gate dielectric close to the channel.
Une couche d'arrêt de gravure, contenant du silicium, permet la mise en place aisée d'un diélectrique de grille au voisinage immédiat du canal.
a portion of the etch stop layer
une partie de la couche d'arrêt de gravure
The device also includes an etch stop layer located between the substrate and the plurality of control gate electrodes.
Le dispositif comprend également une couche d'arrêt de gravure située entre le substrat et la pluralité d'électrodes de grille de commande.